VAT 高真空擺式控製閥
VAT HV Pendulum Control Valve
產品特色
- HV
- 專為半導體和顯示器面板生產系統設計，為下游壓力控制和隔離設定了新標準，可在寬電導範圍內提供最高水平的可控性。
- 65.3預設運動順序可適應個別和不斷變化的工藝參數，透過改進其集成位置控制的電動機，驅動控制器以更高的32位數據處理能力(IC2+CPA)促進更強大的過程可控性、可用性，能極快速、精確地控制擺閥的每個位置。
- 閘門的優化非常順暢，阻尼關閉運動避免了傳統閥門常見的衝擊振動，確保了往復運動中的非接觸式氣流控制以及密封運動中所有區域的均勻氣密密封，實現無衝擊操作、無粒子激活、無顆粒釋放性能。
- 即插即用構造，無需拆卸或對齊
| 尺寸 |
|---|
| DN 100~350mm(4"~14")(8"~22“) |
CLOSED
CONTROL POSITION
OPEN
Optically Closed
Leak Tight Closed
