Siargo 質量流量感測器

Siargo 提供多種具備不同封裝、流量範圍與介面的質量流量感測器，廣泛應用於醫療、儀表、自動化、HVAC（暖通空調）、製程控制、食品與飲料等諸多領域。整合壓力、溫度、濕度和化學濃度的複合型感測器可提供開箱即用（Turn-key）的完整解決方案。此外，我們亦可根據客戶需求提供 OEM/ODM 客製化產品。

	FS1015E 系列質量流量感測器專為醫療設備的氣體流量監測與控制應用而設計，採用 Siargo 獨家的 MEMS Thermal-D 感測晶片。感測器能直接量測質量流量，且壓降極低。可輕鬆應用於呼吸器、內視鏡與麻醉設備。FS1015E 最大量測流量可達 150 SLPM。標準 ISO 15 mm 醫療接頭設計，可無縫即插即用相容於各類醫療設備。
	FS1100 系列質量流量感測器採用 Siargo 獨家的 MEMS Thermal-D 感測晶片製造，能同時擷取流體介質在空間域與時間域的熱傳導數據。相較於傳統的熱量式（Calorimetric）感測，它在全動態範圍內提供顯著更佳的線性度，消除具備相似熱擴散率氣體之間的氣體敏感度差異，並在配合氣體轉換係數使用時提升量測精度。它能同時輸出流體介質的即時溫度數據，並進一步提升熱式感測方法的溫度效能。
	MF3000 專為通用型質量流量計量所設計，可選配手動控制閥。內建流量開關輸出，非常適合用於氣動製程控制。本產品配備專利流量整流器及配件，無需直管段即可實現靈活安裝連接。
	FS4001E 系列質量流量感測器採用 Siargo 專利的 MEMS 質量流量感測器與智慧電子電路，專為儀表與製程氣體流量控制而設計。感測器機能以高精度與快速響應時間，直接量測亞升級（sub-liter-per-minute，低於 1 L/min）範圍的質量流量。現有型號亦可配置小型 LCD 螢幕。FS4001E 滿量程流量涵蓋 30 sccm 至 1000 sccm。寶塔接頭（Barbed connector）設計可輕鬆連接軟管。
	FS4308 系列質量流量感測器專為通用型精密氣體計量、處理、監測與/或控制所設計。本產品為該系列的第三代產品，提供增強型流量整流，實現更高的安裝靈活性（包含歧管/底座安裝選項）。FS4308 相比前代設計體積更小，已廣泛應用於醫療設備、氣動控制、製程自動化及其他工業領域。該系列提供寬廣的動態流量範圍，工作壓力高達 0.8 MPa（10 bar 或 117 psi），補償溫度範圍為 -10 至 +55°C。
	FS5001E 系列質量流量感測器專為通用型流量計量與控制應用設計，具備歧管（Manifold）安裝介面，並採用 Siargo 獨家的 MEMS Thermal-D 感測技術。現有型號可輕鬆應用於分析儀器（如氣相層析儀、空氣採樣器）及多種製程控制領域。FS5001E 提供兩種型號：一種用於亞升級流量，另一種流量最高可達 15 SLPM。本產品亦可用於旁路（Bypass）流量量測。
	FS6122 系列質量流量感測器提供獨特的多參數流量量測解決方案，集質量流量、表壓、溫度與濕度量測於一體。專為醫療呼吸設備設計，亦可應用於通用型流量計量與控制。感測器採用極低壓降設計，現有型號可輕鬆應用於呼吸器、呼吸分析儀、CPAP（持續正壓呼吸器）及其他醫療設備，以及環境監測和各種製程控制。FS6122 可量測高達 250 SLPM 的單向或雙向流量、氣體溫度，以及高達 ±100 cmH2O 的表壓，接頭可完全客製化。
	FS7002 系列質量流量感測器採用 Siargo 專利 MEMS 質量流量感測技術與智慧電子電路，專為通用型流量計量與控制應用而設計。感測器透過微型化封裝實現直接質量流量量測。現有型號可輕鬆應用於監測通氣管道、風扇或馬達、開放空間氣流以及堵塞狀況，同時也是有限空間內氧氣輸送及其他氣體輸送應用的理想選擇。FS7002 包含兩種型號：FS7002（具類比輸出的非線性版本）與 FS7002L（具 I2C 輸出的線性化版本）。FS7002 最高可量測 15 m/s 的風速/流速。
	FS8000 系列質量流量感測器採用 Siargo 專利 MEMS 質量流量感測技術與創新電子電路，專為通用型流量計量與控制應用設計。感測器具備極快的響應時間，可直接量測質量流量。現有型號可輕鬆應用於高吞吐量的自動化設備（如半導體固晶機/晶片粘接設備），以及空氣採樣器、漏氣檢測和氣體噴塗等其他應用。FS8000 主要提供滿量程為 30 至 500 sccm 的質量流量量測（FS8001E 的動態範圍達 100:1），FS8003E 的流量更高達 6 SLPM。