Siargo 質量流量控制器

本系列質量流量控制器專為滿足絕大多數應用需求而設計（超高純度需求除外）。該系列具備極快的響應與控制速度、小巧的體積占用、更好的介質相容性，以及大幅提升的氣體轉換線性度與精確度。產品支援市面上大多數匯流排（Bus）介面並開放客製化。針對 OEM 與大批量應用，產品在符合工業級效能標準的同時，更具備優異的成本效益。

	MFC1100 系列氣體質量流量控制器專為大流量氣體流量控制應用而設計，滿量程涵蓋 20 至 50 Ln/min。支援類比（0~5 Vdc 或 4~20 mA）與 RS485 Modbus 介面，配合比例閥進行質量流量控制。MFC1100 可應用於動態範圍高達 100:1 的無腐蝕性製程氣體控制。控制壓力範圍為 0.1 至 0.8 MPa（15 至 117 PSI），補償溫度範圍為 0 至 55 °C。典型應用包括數位化麻醉氣體輸送與焊接氣體輸送。
	MFC1600 採用獨家 Thermal-D 感測技術進行氣體流量控制。在效能符合工業標準的同時，其配置與材料選擇可根據需求提供具高成本效益的通用解決方案或 OEM 方案。
	MFC1700 採用獨家 Thermal-D 感測技術進行氣體流量控制。本系列為 MFC1600 系列的延伸/衍生版本，新增板載旋轉式指撥開關（Rotary DIP switches），便於進行離線通訊鮑率與位址設定。此外亦配備零點校正埠（Offset calibration port）、硬體式閥門強制覆寫控制（Valve-override control），並可透過控制器頂部面板的 LED 燈即時顯示設備狀態。
	MFC2000 專為通用型無腐蝕性氣體流量控制應用設計，滿量程質量流量涵蓋 50 sccm 至 200 SLPM。具備高精度與快速控制響應時間。同時提供類比與 RS485 Modbus 介面，亦可依需求客製化其他介面。
	MFC2600 專為通用型無腐蝕性氣體流量控制應用設計，滿量程質量流量涵蓋 50 sccm 至 20 SLPM。具備高精度與快速控制響應，採用下開口/底出埠（Down-port）結構設計，便於歧管/底座（Manifold）安裝。同時提供類比與 RS485 Modbus 介面，亦可依需求客製化其他介面。
	MFC2100 專為通用型無腐蝕性氣體流量控制應用設計，滿量程質量流量涵蓋 50 sccm 至 200 SLPM。具備高精度、快速控制響應以及 IP65 防護等級。同時提供類比與 RS485 Modbus 介面，亦可依需求客製化其他介面。
	MFC4000 專為精密儀表（如氣相層析質譜儀 GC-MS、空氣採樣器、漏氣檢測儀等）設計。它是目前市面上體積最小（Footprint 最小）的氣體質量流量控制器，具備快速控制響應時間與可客製化的介面與接頭。
	MFC5100M 專為單機獨立運作（Stand-alone）應用而設計，適用於無遠端介面或無需程式控制的實驗室或線上氣體製程控制。觸控螢幕讓使用者能輕鬆存取與設定控制參數，並支援多種氣體切換選擇。另提供插頭式電源選配，使用更加便捷。
	MFC5000 專為工業製程控制而設計，提供高精度、快速控制響應時間以及多種匯流排（Bus）介面供選擇。配備標準位址與通訊參數旋鈕，便於進行離線設定。其機械連接介面亦可完全客製化。